Технологияи массиви марҳилавии оптикӣ як навъи нави технологияи идоракунии каҷкунии чӯбест, ки бартариҳои чандирӣ, суръати баланд ва дақиқии баланд дорад.

Дар айни замон, аксари тадқиқотҳо дар массиви марҳилавии оптикии кристаллҳои моеъ, мавҷи оптикӣ ва системаи микроэлектромеханикӣ (MEMS) гузаронида мешаванд. Он чизе ки мо имрӯз ба шумо меорем, ин принсипҳои марбут ба массиви марҳилаи оптикии мавҷи оптикӣ мебошад.

Массиви марҳилавии мавҷи оптикӣ асосан аз эффекти электро-оптикӣ ё эффекти термооптикии маводи диэлектрикӣ истифода мебарад, то нури рӯшноиро пас аз гузаштан аз мавод кашиш диҳад.

Оптикӣ Wроҳнамо Pдод Aрей Bасос ёфтааст Eэлектро-Opticал Eтаъсир

Таъсири электро-оптикии кристалл аз он иборат аст, ки ба кристалл майдони электрикии беруна ворид карда шавад, то нури аз кристалл мегузарад, таъхири фазаро ба майдони электрикии беруна ба вуҷуд меорад. Дар асоси таъсири ибтидоии электро-оптикии кристалл, таъхири фазае, ки дар натиҷаи майдони барқ ​​ба вуҷуд омадааст, ба шиддати татбиқшаванда мутаносиб аст ва таъхири фазаи шуои нур, ки аз ядрои мавҷи оптикӣ мегузарад, тавассути назорати шиддат дар кристалл метавонад тағир дода шавад. қабати электроди ҳар як ядрои мавҷи оптикӣ. Барои массиви марҳилавии мавҷгирҳои оптикӣ бо мавҷи қабати N, принсип дар расми 1 нишон дода шудааст: интиқоли шуоҳои рӯшноиро дар ҳар як қабати ядроӣ мустақилона идора кардан мумкин аст ва хусусиятҳои тақсимоти даврии майдони нури дифраксионии онро бо назарияи дифраксияи гратӣ шарҳ додан мумкин аст. . Бо назорати шиддати татбиқшаванда дар қабати аслӣ тибқи як қоидаи муайян барои ба даст овардани тақсимоти мувофиқи фарқияти фазаҳо, мо метавонем тақсимоти дахолати шиддатнокии рӯшноиро дар майдони дур назорат кунем. Натиҷаи интерференсия як нури баландшиддати нур дар як самти муайян мебошад, дар ҳоле ки мавҷҳои рӯшноӣ аз агрегатҳои идоракунии фаза дар дигар самтҳо якдигарро бекор мекунанд, то сканкунии каҷшавии чӯби нурро амалӣ созанд.

Расми 1 Принсипҳои тор дар асоси Электро-Оптикӣ таъсири массиви марҳилавии мавҷи оптикӣ

Массиви марҳилавии мавҷи оптикӣ дар асоси эффекти термооптикӣ

Кристал’Таъсири термооптикӣ ба падидае дахл дорад, ки сохтори молекулавии кристалл тавассути гарм кардан ё хунук кардани кристалл тағир меёбад, ки бо тағирёбии ҳарорат хосиятҳои оптикии кристаллро тағйир медиҳанд. Аз сабаби анизотропии кристалл эффекти термооптикӣ зуҳуроти гуногун дорад, ки онҳо метавонанд тағирёбии дарозии ниммоҳи индикатриса ё тағирёбии кунҷи тири оптикӣ, табдили ҳамвории тири оптикӣ, гардиши индикатриса ва гайра. Мисли эффекти электро-оптикӣ, эффекти термооптикӣ низ ба каҷшавии чӯб таъсир мерасонад. Бо тағир додани қувваи гармидиҳӣ барои тағир додани шохиси рефрактивии таъсирбахши мавҷ, каҷшавии кунҷро дар самти дигар ба даст овардан мумкин аст. Расми 2 диаграммаи схематикии массиви марҳилавии мавҷи оптикӣ дар асоси эффекти термооптикӣ мебошад. Массиви марҳилавӣ дар дастгоҳи 300 мм CMOS ба таври якхела ҷойгир карда шудааст ва муттаҳид карда шудааст, то ба каҷравии сканкунии баландсифат ноил шавад.

Расми 2 Принсипҳои массиви марҳилавии мавҷи оптикӣ дар асоси эффекти термооптикӣ